質(zhì)量流量計

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫(xiě)為MFM）, 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準，不需要溫度壓力補償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫(xiě)為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據需要進(jìn)行流量設定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì )使其偏離設定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設定或與計算機聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩流裝置。

怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來(lái)表示。這意味著(zhù)，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

什么樣的流量計需要流量積算儀？

流量積算儀是指流量計的二次儀表，即負責采樣、轉換、計算、數據存儲部分。配套一次儀表使用，組成完整的流量計，一次儀表往往指傳感器部分，如孔板節流裝置。

非智能型的流量計?；镜奶卣骶褪遣粠Ь偷仫@示功能，也沒(méi)有積算，溫度，壓力補償，報警輸出等功能，這類(lèi)的流量計（確切來(lái)說(shuō)應該叫做流量傳感器）需要配流量積算儀。

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曉韜科技流量積算儀的優(yōu)勢

● 先進(jìn)的運算方式，保證頻率信號即使在頻率很低時(shí)也有足夠的流量運算精度。

● 具有8位累積器及4位瞬時(shí)測量值顯示，可選擇開(kāi)方/不開(kāi)方處理及設置任意范圍的小信號切除功能。

● 具備完整的溫壓補償功能，無(wú)需更換不同的儀表或型號．通過(guò)編程即可實(shí)現一般氣體、飽和蒸汽、

過(guò)熱蒸汽及液體的溫壓補償運算。采用查表方式對蒸汽進(jìn)行補償運算。具有較高的精度。

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